三甲基氯硅烷无色透明液体。有挥发性，在潮湿空气中易水解而成游离盐酸。这是由于硅-卤键的特殊活泼性，由三甲基氯硅烷出发，可以合成一系列含硅-官能团结构的有机硅化合物，如三甲基烷氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷、三甲基氰基硅烷等。因此，常常密封于阴凉干燥处保存。因为受热或遇水分解放热，会放出有毒的腐蚀性烟气。具有腐蚀性。因此要谨慎使用。
2(CH3)3SICL+H20=(CH3)6SI2O+2HCL
三甲基氯硅烷要是水解是产生(CH3)6SI2O简称MM，也称作甲基双封头，主要用在有机硅硅油的封头剂，也是终止二甲基环体硅氧烷的链长。常温常压下三甲水解不会产生CH4和SIO2的。Si-O键的键长为1.62×10-10m,键能为369kJ/mol，得到的MM很难产产生CH4的。
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三甲基氯硅烷水解